ALN(Aluminum Nitride) 세라믹 기판을 적용한 히터로, 높은 열전도율과 우수한 전기 절연 특성을 갖습니다. 빠른 승온과 균일한 온도 분포가 가능하며, 열충격에 강해 반도체·진공·정밀 장비용 가열 시스템에 적합합니다.
ALN 히터는 반도체 장비, 웨이퍼 가열, 진공 챔버 히터, 디스플레이 공정, 배터리 제조 장비, 의료기기, 정밀 온도제어 시스템 등 고열전도·고절연 특성이 요구되는 산업용 히터 분야에 폭넓게 적용됩니다.
SiC(Silicon Carbide) 히터는 고온 전기로 및 산업용 가열로에 사용되는 고출력 발열체로, 1,600℃ 이상의 초고온 운전이 가능합니다. 내산화성·내열충격성이 우수해 소결로, 열처리로, 세라믹·금속 공정에 적합한 고온 히터입니다.
SiC 히터는 고온 전기로, 소결로, 열처리로, 세라믹·금속 소성 공정, 반도체 확산로, 유리 용해로 등 1,600℃급 초고온이 필요한 산업용 가열 시스템에 적용되며, 내산화·고내구성이 요구되는 공정에 적합합니다.
